等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子，作用到固体样品表面，会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。
型号：真空等离子清洗机SPV200
深入表面 · 魅力科学
（1）晟鼎精密真空等离子清洗机产品简述
（1.1）等离子清洗的作用
等离子清洗的作用原理主要是：
（A）对材料表面的刻蚀作用--物理作用
等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子，作用到固体样品表面，不但清除了表面原有的污染物和杂质，而且会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。
（B）激活键能，交联作用
等离子体中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的键能在0~10eV，因此等离子体作用到固体表面后，可以将固体表面的原有的化学键产生断裂，等离子体中的自由基与这些键形成网状的交联结构，大大地激活了表面活性。
（C）形成新的官能团--化学作用
如果放电气体中引入反应性气体，那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应，引入新的官能团，如烃基、氨基、羧基等，这些官能团都是活性基团，能明显提高材料表面活性。
（1.2）真空等离子清洗的优势
等离子清洗作为重要的材料表面改性方法，已经在众多领域广泛使用。
（A）处理温度低
处理温度可以低至80℃、50℃以下，低的处理温度可以确保对样品表面不造成热影响。
（B）处理全程无污染
等离子清洗机本身是很环保的设备，处理过程不产生污染。
可以与原有生产流水线搭配，实现全自动在线生产，节约人力成本。
（C）处理效果稳定
等离子清洗的处理效果非常均匀稳定，常规样品处理后较长时间内保持效果良好。
（D）可以处理各种形状的样品
对于复杂形状的样品，等离子清洗都能找到合适的解决方案。
真空等离子清洗更可实现对固体样品内部位置进行清洗。
（1.2）产品原理
等离子清洗机的结构主要分为三个大的部分组成，分别是控制单元、真空腔体以及真空泵。
| 系统标准配件 |
| 设备尺寸 | 1105W * 1488D * 1842Hmm (2158mm带信号灯高度） |
| 水平极板 | 8层 |
| 电极板 | 402W * 450Dmm |
| 气体流量控制器，2路工艺气体 | 0-300ml/min |
| 真空测量 | 日本ulvac真空计 |
| 人机界面触摸屏 | SD自主研发 |
| 电极间距 | 48mm |
| 信号指示灯 | 3色带警报 |
| 真空泵 | 90m³/h双极油泵 |
| 系统电力&机械 |
| 电源：AC380V，50/60Hz | 额定功率5000W |
| 系统重量（设备主机/真空泵） | <600Kg |
| 占地面积：设备主机 | 1805(W)×1988(D)×1842(H) mm |
| 射频电源 |
| 射频电源频率 | 13.56MHz |
| 射频电源功率 | 1000W |
| 射频电源匹配器 | 全自动匹配，空气电容技术 |
| 设备必备条件 |
| 电源：AC380V，50/60Hz，三相五线 | 7.5KVA |
| 压缩空气要求 | 无水无油CDA 60~90psig |
| 抽风系统 | ≥2立方/分钟，中央尾气处理管道即可 |
| 系统环境温度要求 | ≤30℃（室温） |
| 工艺气体要求 | 15~20psig 99.996%或以上纯度； |
（A）控制单元：
控制单元主要分为半自动控制、全自动控制、PC电脑控制、液晶触摸屏控制四种方式。
而控制单元又分为两个大的部分：
1）电源部分：主要电源频率有三种，分别是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，其中13.56MHz是需要电源匹配器的，而2.45GHz又称为微波等离子。
2）系统控制单元：分三种，按钮控制（半自动、全自动）、电脑控制、PLC控制（液晶触摸屏控制）。
（B）真空腔体：
真空腔体主要是分为两种材质的：1）不锈钢真空腔体，2）石英腔体。
（C）真空泵：
真空泵种类较多，其选择会根据用户的真空度要求、体积要求来配置。
（2）真空等离子清洗机应用范围
